高純氧是一種無色無臭無味氣體，用于二氧化硅的化學氣相沉積；作為氧化源與產生高純水的反應劑；干法氧化；與四氟化碳混合，用于等離子刻蝕。氧的主要用途源于它能維持生命和助燃性質；在冶金工業中有廣泛應用。還可用于水質處理。所有的氧化反應和燃燒過程都需要氧，例如煉鋼時除硫、磷等雜質，氧和乙炔混合氣燃燒時溫度高達3500℃，用于鋼鐵的焊接和切割。玻璃制造、水泥生產、礦物焙燒、烴類加工都需要氧。液氧還用作火箭燃料，它比其他燃料更便宜。
技術指標：執行國家標準 GB/T14599-2008
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序號 |
指標名稱 |
技術要求 |
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1 |
氧氣（O2）純度，10-2 |
≥99.999 |
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2 |
水分（H2O）含量（體積分數，10-6 |
≤2 |
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3 |
氮氣（N2）含量（體積分數），10-6 |
≤5 |
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4 |
氬（AR）含量（體積分數），10-6 |
≤2 |
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5 |
氫氣（H2）含量（體積分數），10-6 |
≤0.5 |
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6 |
二氧化碳（CO2）含量（體積分數），10-6 |
≤0.5 |
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7 |
總烴含量（體積分數）（以甲烷計），10-6 |
≤0.5 |
